オリンパス、可視から近赤外領域で多様な分光特性を測定できる近赤外顕微分光測定機

オリンパス「USPM-RU-W」 オリンパス( http://www.olympus.co.jp )は、可視から近赤外領域で多様な分光特性を高速で測定できる、近赤外顕微分光測定機「USPM-RU-W」を2011年8月1日に発売する。

 顕微分光測定機は、開発・製造現場において、レンズなどの光学素子のコーティングを評価したり、電子基板上の微細なエリアの反射率や膜厚を測定するために用いられる機器。開発の意図通りの性能になっているか、品質基準を満たしているか、など品質評価をサポートする。

 同品は、USPMシリーズのラインアップとして、高度な測定ニーズに応えるため、可視から近赤外領域(380nm-1050nm)まで幅広い波長での反射率測定ができるようになったほか、物体色測定、多層膜厚測定機能を標準で搭載している。さらに、オプションの透過率測定、45度反射率測定を加えると、1台で全5種類の測定機能を搭載している。

 また、同品専用の対物レンズでフォーカスすることで、φ17µm~70µmの微小領域の測定を行い、平面微細部だけでなく球面、非球面など曲面も測定できる。さらに、新開発の対物レンズは、携帯電話のカメラ用レンズなど、超小型薄型のレンズでも測定できるようになった。