物質・材料研究機構、世界最高性能クラスのナノ誘電体膜を開発

 物質・材料研究機構( http://www.nims.go.jp )の国際ナノアーキテクトニクス研究拠点(MANA)の研究グループは、分子レベルの薄さ(厚み:1nm)の酸化物ナノ結晶(ナノシート)において、化学組成と構造を自由自在に制御する精密ドーピング技術を開発した。さらに、この技術を誘電性ナノシートに応用することで、自在な特性制御を実現し、ナノレベルの厚さで世界最高性能クラスの誘電体膜(誘電率320)の開発に成功した。これにより、誘電体素子のさらなる小型化と大容量化が可能となり、次世代の大容量コンデンサ素子やメモリ素子開発への新しい道が開けるという。

 本研究は、科学技術振興機構の「ナノ科学を基盤とした革新的製造技術の創成」研究領域における研究課題「無機ナノシートを用いた次世代エレクトロニクス用ナノ材料/製造プロセスの開発」の一環として行われたもの。

チタン・ニオブ酸化物ナノシートの原子間力顕微鏡像(左)とナノシート積層膜の断面透過型電子顕微鏡写真チタン・ニオブ酸化物ナノシートの原子間力顕微鏡像(左)とナノシート積層膜の断面透過型電子顕微鏡写真