キヤノンマーケティングジャパンZYGO部は11月16日13時～17時に、東京・港区の本社3階 キヤノンホール Sで、「Zygo Metrologyセミナー2016」を開催する。
同セミナーは、大学や研究機関、産業界などの第一線で活躍する講師が、Zygo社の非接触表面形状測定機に関連した技術を紹介するもので、第14回目となる今回は「Zygoメトロロジー活用による自社の技術向上」をテーマに、以下のとおり講演がなされる。
・講演1「TMTミラーの面形状計測技術」松田 融氏（キヤノン 半導体機器第二PLMセンター LSオプティクス開発室 主幹）…国際協業で建設されるTMT望遠鏡は約500枚のセグメントミラーから構成される。このセグメントミラーは大口径(約1.5m)でかつ曲率Rが大きい(約60m)非球面形状であるため、面形状の計測が困難である。キヤノンではこのセグメントミラー量産のために、DynaFiz干渉計や接触式測定器など、空間周波数帯域に応じて複数の計測方法を組み合わせた面形状計測手法を確立した。この計測手法について紹介する。
・講演2「Stonelappingの品質におけるZygo NewViewによる測定結果について」堀 捷樹氏（西部自動機器 上席技術顧問）、上池満洋氏（同社 生産部 課長）…加工技術の向上は評価技術（分析・解析・測定）の向上と表裏一体であり、最近超仕上げ加工（社内名称 Stonelapping）の品質がますます向上し、その評価技術を確立する要求に迫られている。そこで、形状特性、特に表面粗さの形状測定にZygo NewView8300を使用し、Stonelapping後の形状特性を求めた事例を紹介すると同時に、Stonelapping加工技術の現状についても報告する。
・講演3「Zygo社走査型フィゾー干渉計を利用した高精度光学素子の製作事例」橋爪寛和氏（夏目光学 テクノロジーセンター 取締役所長）…同社は高精度・特殊な光学素子を提供し続けて70年となった。長く培ってきた特殊光学素子の加工技術と、Zygo社の先端的な計測システムを利用した評価技術との融合により、高精度な光学素子を実現している。ここではZygo社干渉計を利用した様々な光学素子の計測事例と、その計測結果を用いて精密修正研磨を施した高精度光学素子の製作事例を紹介する。
・講演4「高精度平面の加工／計測技術」工藤 渉氏（テクニカル 製造一課 課長）…特許技術「クロビット」、「表面品質比較判断プレート」について紹介する。高精度平面の加工と計測技術を紹介するとともに、。業技術総合研究所との超高精度平面研磨技術の共同研究について説明する。また、λ/100原器の研磨、およびZYGO干渉計を用いたその評価方法について説明する。
・講演5“Transparent surface films analysis using the ZYGO Nexview™ interference microscope” Martin Fay氏（Zygo社 Senior Reserch Scientist）…Zygo社の開発している、透明膜表面解析のための最新の技術トピックスを紹介する。
申込は以下URLから行える。 http://cweb.canon.jp/indtech/zygo/seminar/index.html
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