エリコンバルザース、ドイツ・ニーダーライン大学にコーティング装置を納入

 リヒテンシュタイン・エリコンバルザースは昨年末、同社グループが販売を行うコーティング装置「METAPLAS.DOMINO」をドイツ・ニーダーライン大学 応用化学科 表面技術研究所に納入した。同研究所では同装置を用いて表面技術の研究者を育成していく。

 同装置は、真空アークプロセスとスパッタリングプロセスに加え、HIPAC(アーク式グロー放電とHiPIMSの組み合わせ)プロセスにより切削工具や金型、摺動部品などに対して薄膜を成膜できる。今回同研究所に納入したのは、有効コーティング面積がØ330mm×300mmとシリーズで最小の「METAPLAS.DOMINO MINI」だという。

 同研究所は2011年に開設。同大学が卒業生および学生の表面技術者育成に重点的に取り組む表面技術応用研究(STAR)は同研究所を拠点にしている。既存の装置は産業プラントからの中古品だったが、現在の産業要求を満たしておらず今回の装置導入となった。同研究所 所長のマーカス・レイク教授は「アーク蒸着、スパッタリング、イオン化プロセスといったMETAPLAS.DOMINO MINIの複合ソーステクノロジーは実技に基づく私たちの教育プログラムの要求を満たす理想的なソリューションである」と期待を寄せている。

 エリコンバルザースと同研究所は独占的産業パートナー契約を結び、コーティング装置の設置および試運転を行った後、本格的な研究に入るという。エリコンバルザース インダストリアルソリューションズのトップであるマーク・デズレヨー氏は「これからの新技術開発を加速させるためのコラボレーションである」とパートナー契約の目的を語っている。

 同研究はコーティング装置のほかに自動超音波洗浄システムを発注しており、近日中に納品されるという。「前処理と後処理プロセスの可能性を統合することによりコーティングプロセスチェーン全体の幅広いトレーニングが可能だ」とレイク教授は話している。

 なお、「METAPLAS.DOMINO」の日本国内における販売・メンテナンスは日本エリコンバルザース( http://www.oerlikon.com/balzers/jp )が行っており、これまでに導入実績もある。
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