オリンパス、微細形状や表面粗さを高精度に測定できる3D測定レーザー顕微鏡

 オリンパス( https://www.olympus.co.jp/ )は、3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS5000」の販売を開始、電子部品・半導体業界、自動車業界の研究・開発や品質検査などに拡販を図る。

オリンパス「LEXT OLS5000」オリンパス「LEXT OLS5000」

 3D測定レーザー顕微鏡は、サンプルの表面をレーザー光でスキャンすることにより微細形状の拡大観察や、表面粗さ、段差などの形状測定が可能な測定機。

 新製品は、「4Kスキャンテクノロジー」や改良された専用光学系によりほぼ垂直な形状やナノに迫る微小段差が検出可能となり、測定性能が大幅に向上した。また従来比4倍のデータ取得スピード実現に加え、従来オペレーターの操作に依存していた各種設定の自動化やさらなるユーザビリティーの追求により、直感的に操作可能なソフトウェアを提供する。さらに、最大サンプル高さ210mmに対応した拡張フレームやサンプル表面までの作業距離が長く取れるレンズを新たに追加したことで、これまでよりも大きなサンプルや凹凸のあるサンプルも高精度に測定可能。