メディア研究所、独CCR社製プラズマソースを販売開始

 メディア研究所( http://www.mediken.jp )は、ドイツ・CCR Technology社と同社製プラズマソース(COPRAシリーズ)の日本・東南アジアでの販売代理店契約を締結した。2011年から本格的な販売活動を開始、年間20台程度の売上を見込んでいる。

 同プラズマソースは誘導結合と印加磁場による相乗効果により、高密度で低エネルギーのイオンを発生できることから、すでに欧米の装置メーカー向けに多数納入されている。太陽電池の反射防止膜の形成、PECVD(プラズマアシストCVD)用、低ダメージのエッチング、特にダイヤモンドに近い高SP3成分の高硬度DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の形成など、広範囲なアプリケーションへの応用が見込まれている。また、低摩擦の摺動膜形成用としても適用できることから、自動車エンジン部品の低摩擦化による燃費改善にもつながると見られている。