全国の公設試がDLCコーティング膜のラウンドロビンテストを実施

 各都道府県の公設試験研究機関(公設試)と産業技術総合研究所(産総研)は、相互の情報交換を目的に設置されている産業技術連携推進会議(産技連)における技術向上支援事業として、平成24年度から19公設試が参加して「ものづくりに向けたDLC評価方法の検討」を行っている。

ラウンドロビンテスト参加の公設試

 この事業では、DLCのラウンドロビンテストを行うことで基盤技術の底上げを行っている。ラウンドロビンテストを行うにあたっては、11機関から13種類の試料提供が行われた。これらの試料を成膜装置ごとに化学的気相蒸着(CVD:3種類)、プラズマイオン注入法(PBII:4種類)、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法(UBM:2 種類)、スパッタリング法(SPT:2種類)、カーソディックアーク法(CVA:2 種類) に分類した。DLC膜を1μmで成膜することを決めて、中間層や傾斜層は各担当に任せ、試料提供時に成膜プロセスと膜厚を報告することとした。

 このようにして得られた試料を産総研経由で分析担当の公設試に送付し、集まったデータは便宜的に物理的物性、化学的性質、機械的性質の三つに分けて、各機関で取りまとめた。

評価項目

 メカニカル・サーフェス・テック2013年8月号では、これら事業の取り組みと、試験結果のうち、分光反射率測定による測色、光電子分光によるC1sの波形分離、「Ball on plate」による摩擦摩耗試験について紹介している。執筆は、同事業の事務局を担当する和歌山県工業技術センターの重本明彦氏。