応物学会、10月に「次世代ナノテクのためのナノ計測・加工技術 」セミナーを開催

 応用物理学会 薄膜物理分科会( http://annex.jsap.or.jp/tfspd/ )は10月28日、東京・青梅の産業技術総合研究所で第39回薄膜・表面物理セミナー(2011)「次世代ナノテクのためのナノ計測・加工技術 」を開催する。

 次世代の工業製品開発には、ナノ計測、ナノ加工技術の進捗が不可欠であり、産業界では最優先課題となっている。計測加工手段としては、電子、イオン、探針などをプローブに用いた方法が研究開発されているが、より微細な領域の計測と加工、多様な材料および環境への応用、材料の表面から内部までの構造解析と組成分析など、要求される範囲が広がってきている。

 同会では、特に分解能の限界の追及、液体中など難しい環境下への応用、原子レベルでの構造および組成分析など、計測加工が難しい条件と対象を中心に研究している講師を招き、最新の研究成果を紹介する。

 セミナーの内容は以下のとおり。

  1. 「電子顕微鏡の最新計測技術(仮題)」高柳邦夫氏(東京工業大学)
  2. 「プローブ顕微鏡による液中原子・分子スケールイメージングおよび固液界面評価の最前線」山田啓文氏(京都大学)
  3. 「三次元中エネルギーイオン散乱装置を用いた軽・重元素の分析」小林峰氏(理化学研究所)
  4. 「デバイス特性ばらつきと三次元アトムプローブ解析」最上徹氏(半導体先端テクノロジーズ)」
  5. 「電子線描画法および自己組織化法を用いた3Tbit/in2超高密度記録ビット列形成」保坂純男氏(群馬大学)
  6. 「集束イオンビームによる超微細加工とその応用」松井真二氏(兵庫県立大学)
  7. 「原子間力顕微鏡を用いた室温元素識別・原子操作」森田清三氏(大阪大学)