パーカー熱処理工業、優れた密着性を持つPVD複合コーティング装置

パーカー熱処理工業「Hybrid PVD System」「Hybrid PVD System」 パーカー熱処理工業( http://www.pnk.co.jp )は、Linear Ion Source(LIS),UBM sputter,FCVAのプラズマ源を組み合わせてコーティング膜が合成できる複合コーティング装置「Hybrid PVD System(ハイブリッド・ピーブイディー・システム)」を販売している。

 LISは、closed-driftまたはanode-layer ion beam sourceの形式で、広い面積(数cm~120cm)を均一にイオンビーム照射することが可能、50~1500eVと高いエネルギーを得る事ができる。また大部分の不活性ガスおよび活性ガスの一部などで簡単にイオンが得られるメリットを持っている。このシステムは洗浄、蒸着、イオン補助蒸着などといった分野で適用することができるという。

 UBM Sputterは、カソードに装着された永久磁石により形成された磁場と、ターゲットに印加された電気場との相互作用によってプラズマの密度が高くなる。これにより、放電電流が増加し、スパッタの速度が向上される。合金、化合物、絶縁膜の蒸着や低温工程が可能となる。

 FCVAは、アーク放電を利用して陰極部の物質を蒸発させ、それを表面に蒸着することができる装置。ドロップレットと中性粒子を取り除き、硬度、粗度などの物性を向上させる。

 同社では、先に述べた特長や優れた密着性、コストパフォーマンスを活かして今後も広く販売を行っていく。