ナノテック、堀場とエリプソメーターの販売代理契約

ナノテック「自動薄膜計測装置 Auto SE」 ナノテック( http://www.nanotec-jp.com )はこのほど、堀場製作所( http://www.horiba.com )が製造・販売をしている可視分光エリプソメーター「自動薄膜計測装置 Auto SE」についてDLC市場における販売代理契約を締結したと発表した。

 エリプソメーターは、非接触、非破壊で薄膜表面での光の入射光、反射光の偏光状態の変化を測定し、そこから得られたデータにより薄膜の膜厚や屈折率を算出することができる装置。

 同品は、100μm角以下の微小領域の測定に対応。1nmから15μmの膜厚・光学定数(n,k)を評価できる。また、単層膜に限らず、多層膜の評価も可能。電動XYZステージを標準搭載。高速面内分布測定を実現し、厳密な測定スポット位置の確認も可能となっている。

 仕様は以下のとおり。
光源・・・ハロゲンランプおよび青色LED
波長範囲・・・440nm-1000nm
検出器・・・高感度CCD
サンプルステージ・・・XYZ電動可変(X軸:max.200mm、Y軸:max.200mm)、真空吸着機構
サンプル観察系・・・CCDカメラ搭載(ソフトウェアにてスポット位置確認)
入射角度・・・70度固定(66度固定、61.5度固定も選択可)
操作PC・・・デスクトップタイプ

 ナノテックでは、DLCなどコーティング市場に注力して販売を行っていく予定。同社では、「本装置は、水素含有するDLCから水素フリーDLCまでを一瞬で非破壊測定を行い判別できる。品質管理から研究開発におけるDLCのすべての工程で重要な指標となり、今後DLC分類における標準の評価機器となるだろう」と話している。