メインコンテンツに移動
第9回ものづくりワールド名古屋

 

日本電子、従来機より約30%小型化した多機能SEM

日本電子「JSM-IT100 InTouchScope」 日本電子( http://www.jeol.co.jp/ )は、装置本体の小型化を図りながらも上位機種と同等の分解能性能を持ち合わせた新型走査電子顕微鏡「JSM-IT100 InTouchScope」を開発、販売を開始した。

 走査電子顕微鏡は、バイオテクノロジーやナノテクノロジーの分野をはじめとして、材料開発、検査、評価、欠陥解析、または品質管理に至るまで様々な目的で使用されている。昨今は、こうした様々なニーズを背景に製造現場や研究室等のスペースが限られる場所に設置することが求められるようになり、卓上型の走査電子顕微鏡がこうした需要に応えてきたという。今回開発した製品は、従来機種よりも設置面積を約30%削減して設置場所の自由度を高くし、卓上走査電子顕微鏡並のスペースに設置することが可能になった。

 分解能性能は上位機種と同等で多彩な試料に対応することが可能。なお、操作系は従来機を踏襲し、「観察から元素分析まで一貫操作」で初めて操作する人でも簡単に扱うことが可能だという。さらに、同品ではベーシックモデルの他に、低真空観察機能を装備した装置、EDS元素分析機能を装備した装置、低真空観察機能およびEDS元素分析機能を装備したオールインワンの装置の4モデルから用途に合わせたものを選択できる。