田中貴金属工業、純度を高めた金の薄膜形成用蒸着材

田中貴金属工業「SJeva(粒状)」SJeva(粒状) 田中貴金属工業( http://pro.tanaka.co.jp/ )は、従来よりも純度を高めた薄膜形成用の金の蒸着材「SJeva」のサンプル提供を開始した。同品により、使用貴金属の低減、工程削減による生産性向上やコスト低減、回収リサイクル性を高めることが可能になるという。

 同品では、蒸着材に存在する酸化物や硫化物などの非金属物質を低減することにより金の含有率を同社従来品の99.999%(5N)よりさらに高めた。非金属物質が少ない蒸着材を使用することにより、蒸着材溶解時に表層に凝集する汚れ成分が減少するため、クリーニングが不要になった。また高純度蒸着材は、成膜前に蒸着材が溶解できるまでの予熱時間が短縮可能であるため、成膜に必要のない蒸着材の消費を抑えることができ、コスト低減が可能になる。さらに、同品はガス成分の含有量が少ないため、成膜時に蒸着源から発生するパーティクルやピンホールなどの発生を抑制する効果が期待できるという。

 同社では今後、半導体分野における微細配線、MEMSやオプティカルデバイス(光デバイス)、LED、医療機器などの蒸着材を使用する最終製品に提供していく考え。
田中貴金属工業「SJevaの溶解前(左)と溶解後(右)のSEM写真」SJevaの溶解前(左)と溶解後(右)のSEM写真