不二越、DLC成膜用ハイブリッドイオンプレーティング装置を開発

不二越「SPS-2020」 不二越( http://www.nachi-fujikoshi.co.jp )は、スパッタリング法とプラズマCVD(PCVD)法によりDLC膜をコーティングできる成膜装置「SPS-2020」を開発した。

 真空中でイオンをターゲット材に衝突させることで成膜するスパッタリング法と、プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するPCVD法を融合したハイブリッド成膜技術とすることで、硬さや膜厚などの成膜品質が向上したという。

 また、大電流のHCD式プラズマガンを2基搭載し、高密度なイオンビームを照射して、イオン化率を上昇させることで、DLC成膜速度を従来機対比で約1.5倍まで向上させ、生産効率を改善する。

 さらに、同社独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により、ワーク間での膜厚などのばらつきを抑え、安定した成膜品質を確保する。

 同社によると、DLC膜の需要は、耐摩耗性、非凝着性、低摩擦性などの特性から年率10%を超えるスピードで市場規模が拡大しているという。同社では、アルミ部品切削用工具や、高速回転に対応する軸受などの航空機分野、低摩擦性で燃費を改善する摺動部品、ハイブリッドモーター部品などの自動車分野、ロボット部品や動力伝達部品などの産業機械分野を中心に販売を行っていく。